無(wú)油真空泵，一般都是通過(guò)容積變化，在體積大的時(shí)候吸入空氣，在體積變小時(shí)(壓力變大)排出空氣，容積變化是靠著活動(dòng)的機(jī)械部件來(lái)實(shí)現(xiàn)的，要求有很小的間隙并且有很高的精度。其中無(wú)油真空泵具備的特點(diǎn)，便是不返油，對(duì)被抽空間沒(méi)有油蒸汽污染，不噴油，沒(méi)有油蒸汽從泵口排出，不污染環(huán)境，屬于類(lèi)產(chǎn)品，因此發(fā)展前景很好，被稱(chēng)為二十一世紀(jì)“綠色真空泵”。