制冷旋片式真空泵是真空技術(shù)中比較基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片式真空泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。它旋片泵主要是由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個旋片。旋轉(zhuǎn)時，靠離心力和彈簧的張力使旋片與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動。制冷旋片式真空泵的工作性能由高壓級與低壓級二部分組成，它的吸入口與真空容器或真空設(shè)備連接，在運轉(zhuǎn)時容器內(nèi)的氣體將大量吸入與排出。當(dāng)設(shè)備獲得真空時，高壓級排氣閥片將封閉，高壓級吸入的氣體將轉(zhuǎn)送到二級，并經(jīng)二級吸入與排出，這樣真空設(shè)備可獲得的真空。